超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率大于18 MΩ·cm﹫25℃的水，既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解得胶体物质、气体及有机物均去除至最低程度的水，超纯水是去除氧和氢以外所有原子的水。超纯水的制备工艺采用预处理、反渗透技术、超纯离子交换处理技术及终端修饰技术，超纯水可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的生产出来的水。

去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质。”主要指采用离子交换树脂处理方法。如今的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。在半导体行业中，去离子水被称为超纯水。