超纯水机如若进水水源比较差，或者使用时间比较久而管道长时间不予清洗，长时间浸泡水的超纯水机管道内侧会受到污染，滋生细菌，最终附着在管壁的污染物会影响超纯水机产出水水质，会造成机器损坏，所以用户朋友需要及时对超纯水设备管道进行清洗消毒。

首先我们使用超纯水机产出的超纯水对管道内的杂质进行冲洗，操作步骤：将水箱与一台水泵连接，再与需要清洗的超纯水管道进行连接，形成一个循环管路，加入一定量的超纯水到水箱，用水泵进行循环，一刻钟后打开排水阀，一边排放一边循环，如上操作完毕后,最后再用稀释过的清洗消毒溶剂继续对超纯水设备管道进行循环冲洗，循环30分钟为宜，然后停止循环关闭主管阀门，使得溶液在超纯水设备管道中浸泡1个小时左右。

一次清洗前应在不锈钢滤筒里安装使用过的微孔滤芯以供清洗使用，清洗完成后超纯水设备再次使用前更换新的微孔滤芯。请特别注意：清洗前纯化树脂桶应安装管道旁通，防止超纯水设备中的纯化树脂桶与清洗所用的双氧水溶液接触到。

第二、三遍使用双氧水溶液清洗时，每次应使用双氧水溶液在管内循环30分钟，然后停止循环关闭供回主管阀门，让溶液在清洗管道中浸泡1小时为宜。

第四遍清洗时，应使用冲洗的方式，冲洗时间不少于8小时，边冲边循环边在管道最终端点放水。

整个清洗过程中，超纯水设备终端用水点进设备处都应先行关闭，同时在最后一遍冲洗时，应将每台设备用水点处进行排放，排放时间不少于0.5小时。