纯水设备中，紫外线杀菌消毒采用管道式在线灭菌处理，细菌中的核酸吸收了紫外光的能量而改变了自身的结构，进而破坏了核酸的功能所致，当核酸吸收的能量达到致死量而紫外光的照射又能保持一定时间时，细菌便大量死亡。一般是采用254nm波长的紫外灯除去水中细菌，采用185nm波长的紫外线杀菌灯，利用紫外线照射病菌，从而破坏和改变病菌的DNA结构，从而消灭病菌或无法繁殖后代，达到灭菌的效果，利用紫外光氧化有机物，降低水中的TOC浓度。建议消毒时长为30~40分钟，消毒结束后进行通风 15-30分钟。

 臭氧杀菌消毒是指臭氧能氧化分解病菌的葡萄糖氧化酶，氧化并穿透病菌的细胞壁，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，导致病菌的新陈代谢和繁殖过程遭到破坏，从而达到灭菌的效果 ，由于臭氧为气体，所以可以轻松越过障碍物，遍布整个消毒环境，杀菌相比紫外线更加彻底，几乎无死角。建议消毒时长建议为30-40分钟，由于臭氧杀菌消毒后有浓厚的气味残留，所以建议消毒结束后进行通风 30-60分钟。