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电子级水中国国家标准GB/T11446.1-2013
2020-7-17
来源:未知
点击数:  126        作者:未知
  • 中国国家标准:电子级水(GB/T 11446.1-2013

    电子级中国国家标准(GB/T11446.1-2013

     

    1、范围

    GB/T11446的本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检测规则.

    本标准适用于电子元器件和半导体工业生产和清洗用水。

     

    2、规范性引用文件

    下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用的构成为本标准的条文。本标准出版时,

    所示版本均为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准新版本

    的可能性。

    GB/T 11446.3—2013 电子级水测试方法通则

    GB/T 11446.4—2013 电子级水电阻率的测试方法

    GB/T 11446.5—2013电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

    GB/T 11446.6—2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

    GB/T 11446.7—2013电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

    GB/T 11446.8—2013 电子级水中总有机碳的测试方法

    GB/T 11446.9—2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

    GB/T 11446.10—2013电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法

     

    3、术语和定义     

    下列术语和定义适用本标准。

    3.1电子级水electronic grade water

      电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

    3.2电阻率resistivity

       在规定温度下,1 cm3(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号P表示,单位为欧姆厘米Ω﹒cm纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25)

    3.3全硅total silicon

       水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。

    3.4可溶性硅soluble silicon

       以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。

    3.5微粒性物质granular matter

       除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质。

    3.6总有机碳(TOC) total organic carbon

    水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。

    3.7吸附absorption

      某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。

    3.8凝聚coagulation

       在源水中加入某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。

    3.9絮凝flocculation

       水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后

    缓慢进行,可除去水中更细的微粒。

    3.10砂滤器sand filter

        用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。

    3.11活性碳过滤器activated carbon filter

        装有粒状活性碳的过滤器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。

    3.12离子交换ion exchange     

    一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化。

    3.13离子交换树脂ion-exchange resin

    一种合成的有机离子交换材料

    3.14去离子水deionized water

        经过离子交换处理,除去了呈离子形式的杂质的高纯水

    3. 15再生regeneration

        离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。

    3.16复合床complex bed

        将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中,将两柱串联,使水依次通过两个柱而被纯化,复合床处理水的纯度虽不及混合床,但操作较简单。

    3.17混合床mixed bed

        将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀,填充于同一离子交换柱中,其纯化效果相当于许多组合床串联使用,出水质量好但再生比较麻烦。

    3.18电渗析electrodialysia

        一种分离水中离子的方法。在电渗析器中,阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室,水流通过小室时,在直流电场作用下,水中阳离子向阴极方向移动,但不能通过阳膜;阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。

    3.19反渗透reverse osmosis

        亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开,并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力,则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中,达到分离提纯的目的。

    3.20反渗透膜reverse osmosis membrane

        用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜,其孔径一般为0. 02 μm或更小,可用于除去无机离子、有机物、细菌等,使水纯化。

    3. 21微孔膜滤器membrane filter  

       一种平均孔径(直径)大于0. Olμm的薄膜,能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

    3.22超过滤uhrafihration

       一种过滤方法,在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。 

    3.23终端terminal

       高纯水生产流程中经过各道净化工艺后,水的出口或使用地点。

     3.24无菌sterile

    不含任何活有机体(不论是活跃的或休眠的)。

    3.25PH

    水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数。

    4、分类和标记

    4.1分类

    电子级水分为四个级别;I级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。

    4.2标记

        I级电子级水标记为:EW-I

        I级电子级水标记为;EW-

        I级电子级水标记为;EW-

      Ⅳ级电子级水标记为.EW-

     

    5、要求

        电子级水的技术指标应符合表1的规定。

                     表1电子级水的技术指标

    项目级别

    EW-I

    EW-

    EW-

    EW-

    电阻率MΩ.cm25℃)

    185%时间不低于17)

    155%时间不低于13)

    12

    0.5

    全硅/(μg/L

    2

    10

    50

    1000

    微粒数/(个/L

    0.05μm~0.1μm

    500

    -

    -

    -

    0.1μm~0.2μm

    300

    -

    -

    -

    0.2μm~0.3μm

    50

    -

    -

    -

    0.3μm~0.5μm

    20

    -

    -

    -

    0.5μm

    4

    -

    -

    -

    细菌个数/(/ml)

    0.01

    0.1

    10

    100

    /(μg/L

    0.2

    1

    2

    500

    /(μg/L

    0.2

    1

    5

    500

    /(μg/L

    0.1

    1

    2

    500

    /(μg/L

    0.5

    2

    5

    1000

    /(μg/L

    0.5

    2

    5

    500

    /(μg/L

    0.1

     

    -

    -

    /(μg/L

    0.1

     

    -

    -

    /(μg/L

    1

     

    -

    -

    /(μg/L

    1

    1

    10

    1000

    亚硝酸根/(μg/L

    1

    -

    -

    -

    /(μg/L

    1

    -

    -

    -

    硝酸根/(μg/L

    1

    1

    5

    500

    磷酸根/(μg/L

    1

    1

    5

    500


    6、试验方法

    6.1电阻率

       电子级水的电阻率按GB/T11446.4--2013的测试方法进行测定。

    6.2全硅含量(以二氧化硅计)

       电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按GB/T11446.6--2013的测试方法进行测定。

    6.3微粒数     

       电子级水中微粒数按GB/T11446.9--2003的测试方法进行测定。

    6.4细菌总数

       电子级水中细菌总数按GB/T11446.10--2013的测试方法进行测定。

    6.5痕量金属含量

       电子级水中痕量金属的含量按GB/T11446. 5--2013的测试方法进行测定。

    6.6氟离子、氯离子,硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

       电子级水中氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子等阴离子的含量按GB/T 11446.7-- 2013的测试方法进行测定。

    6.7总有机碳含量

    电子级水中总机碳含量按GB/T11446.8--2013的测试方法进行测定。

     

    7、 检验规则

    7.1检验部门

       电子级水的检验均应在有资质的检验部门进行。

    7.2检验分类

       电子级水的检验分为交收检验和例行检验。

    7.3交收检验(抽验项目)

    7.3.1电子级水技术指标中电阻率、钠离子、全硅(以二氧化硅计)为交收检验项目。

    7.3.2在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时,应再次采样进行检验,如仍有一项指标不合格,应提出改进措施直到水质合格。

    7.4例行检验(全检项目)

       例行检验每年进行一次,当制水条件发生变更时也应进行例行检验。

    7.4.1检验项目为表1规定的全部技术指标要求。 

    7.4.2在用水终端采样后进行例行检验,检验结果如有一项以上不合格时,应再次采样进行检验,如仍有一项以上指标不合格,应提出改进措施直到水质合格。

     

    8、 采样、贮存、运输及标志

    8.1 电子级水的采样、贮存运输按GB/T11446.3--2013的规定。

    8.2标志:在用水终端采样进行检验时,水质合格后应附有检验合格证,合格证应注明;

     a) 名称及级别

     b) 各项技术指标

     c) 制水单位

     d) 供水日期

     e) 检验员签章及检验日期

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